C60-20S 離子源系統雖然所有離子束都會濺射或蝕刻，但我們的一些系統的表面是專為高效和快速濺射而設計的。濺射光束有三個特點：高電流、大光斑尺寸和寬視場。這些特性的結合意味著它們可以在大面積上盡快輸送大劑量的離子，以優化蝕刻速率。

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