MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態"測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。

?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
 --Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。

?產品介紹 

MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。 

?產品優勢

 --MDPinline（MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測）可以在不到一秒的時間內，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

 --在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。

 --適用于測量晶圓片的材料質量，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業。

 --適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

Multicrystalline silicon wafers

?技術參數